商品介紹

型式規(guī)格  ：GPR-1200

機(jī)臺(tái)型式 ：標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型

基板尺寸 ：550mm x 650mm

上載盤(pán)直徑：?1000mm 的載盤(pán)

下研磨盤(pán)直徑 ：?1200mm 研磨盤(pán)

加壓壓力 ：500Kg

研磨盤(pán)速度 ：5~60 rpm

拋光馬力 ：30HP

電源：3Φ4W AC380V 50/60Hz

設(shè)備尺寸 ：L3000*W2800*H2500(mm)

重量：6500Kg

總耗電量：55KVA

耗風(fēng)量：150 L/ cycle

產(chǎn)品規(guī)格 /

．採(cǎi)用進(jìn)口廠(chǎng)牌 reducer，輸出扭力大、背隙小，並使用錐形齒輪傳動(dòng)，輸出效率更佳。
．使用變頻專(zhuān)用馬達(dá)，可固定轉(zhuǎn)矩，穩(wěn)定性較一般馬達(dá)更好。
．上定盤(pán)軸承採(cǎi)用進(jìn)口廠(chǎng)牌自動(dòng)對(duì)心軸承，壽命長(zhǎng)、穩(wěn)定度佳，提高研磨均勻度。
．轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)採(cǎi)用多段密封，不易進(jìn)水。
．搖擺軸承採(cǎi)用進(jìn)口廠(chǎng)牌，精密度較高且耐用性佳，僅需做定期補(bǔ)給油酯，即能使內(nèi)部保持潤(rùn)滑，充
分減少磨耗損傷狀況。

產(chǎn)品功能 /

．去除玻璃刮傷
．玻璃減薄
．光罩拋光

產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn) /

．上下定盤(pán)平坦度公差為±0.01mm。使研磨前後平整性佳，技術(shù)領(lǐng)先業(yè)界設(shè)備。
．上下定盤(pán)使用特殊鋼材製作而成，抗壓能力及抗拉強(qiáng)度特高，充分減少使用後變形的情況。
．設(shè)備皆自行研發(fā)，故可達(dá)客製化效果。
．人機(jī)操作介面便於人員操控設(shè)定，可依客戶(hù)需求增加設(shè)定功能。
．自動(dòng)控管循環(huán)系統(tǒng)，使研磨液反覆回流攪拌桶，降低Slurry使用成本。
．壓力自動(dòng)補(bǔ)償。
．因有拋光機(jī)上述專(zhuān)利，可有效控制微灰點(diǎn)的產(chǎn)生。
．壓力控制採(cǎi)用電空比例閥及迴路控制，可確保拋光壓力的穩(wěn)定度。